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晶圓烘箱，HMDS預(yù)處理烘箱HMDS涂到樣品表面后，經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷?，此疏水性能夠很好的與光刻膠結(jié)合，增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用。